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            高精度烤膠機(jī)有哪些擴(kuò)展功能

            更新時(shí)間:2022-04-20      瀏覽次數(shù):1903

            高精度烤膠機(jī)的基本功能

            加熱面積尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

            控溫范圍:室溫--200/300/400/500/600℃

            溫度分辨率 :0.1℃     

            溫度波動度:≤±0.5℃         

            溫度均勻性:≤±0.5/1℃ 

            電源輸入:AC220V             

            熱板表面: 由硬質(zhì)陽極氧化鋁制成

            高精度烤膠機(jī)的擴(kuò)展功能

            支撐pin材料

            邊緣支撐pin

            N2吹掃,無氧化烘烤

            烘焙距離可調(diào)模組

            真空腔體

            智能型控制系統(tǒng)

            高精度烤膠機(jī)的用途

                    用于晶圓的單面烘烤,可用于預(yù)烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底膠涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake堅(jiān)膜)工藝。適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。


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