晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦渚A退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-17
訪問量：2185

立即咨詢

聯(lián)系電話：021-31434441

產(chǎn)品詳情

晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>：

晶圓退火需進(jìn)行升溫處理，升溫處理具有多個升溫階段,每個升溫階段相應(yīng)的升溫速率不同,其中,所述多個區(qū)域在每個所述升溫階段中的溫度不同;對所述多個區(qū)域進(jìn)行保溫處理;對多個區(qū)域采用氮?dú)獗Ｗo(hù)，該氮?dú)夂嫦洳捎幂o助降溫方式進(jìn)行降溫處理。

晶圓退火烤箱，500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>技術(shù)性能：

1 工作室尺寸 W450mm×450mm×H450mm （90L），可定制

2 材質(zhì) 內(nèi)箱采用耐高溫SUS304不銹鋼，外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑

3 溫度范圍 RT+50-550℃

4 控溫精度 +1

5 溫度波動度 ≤±1℃

6 溫度均勻度 ≤1.5%

7 潔凈度class100/class1000/無要求

8電源及總功率 AC 380V±10%/50HZ

9 升溫速度 1-10℃/min可調(diào)

10降溫方式風(fēng)冷降溫/水冷

11氧含量氧含量≤50ppm

12 數(shù)據(jù)輸出氧含量分析儀，溫度記錄儀

13操作方式彩色觸摸屏控制，可程式/定制運(yùn)行

14 樣品架 2層不銹鋼沖孔托盤

500度退火氮?dú)夂嫦?/strong>安全保護(hù)：

三色報警燈

超溫報警

短路保護(hù)

漏電保護(hù)

超溫保護(hù)，獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器

電機(jī)保護(hù)

電子鎖自動鎖緊，防止高溫開門

在線咨詢

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：光刻工藝HMDS鍍膜機(jī)，MOS器件HMDS鍍膜機(jī)

下一篇：充氮PI烤箱，PI充氮烤箱