PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱用于光刻膠BCB，聚酰亞胺CPI固化，LCP纖維熱處理、晶圓干燥烘烤等工藝

產(chǎn)品型號(hào)：
廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家
更新時(shí)間：2025-09-17
訪(fǎng) 問(wèn) 量：2250

立即咨詢(xún)

聯(lián)系電話(huà)：021-31434441

產(chǎn)品詳情

PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱

PI固化爐用于光刻膠BCB，聚酰亞胺PI固化，晶圓干燥烘烤等工藝，主要用于集成電路、化合物半導(dǎo)體、MEMS微機(jī)電、TFT/LCD等半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。

通用性，全自動(dòng)運(yùn)行真空固化，2寸-12寸/碎片兼容。

保證性強(qiáng)，可達(dá)5PPM氧氣下實(shí)現(xiàn)真空固化。

時(shí)效性，多功能冷卻方式，縮短了工藝時(shí)間，降低成本，提高生產(chǎn)能力。

能耗低，真空狀態(tài)固化，節(jié)約了80%N?量。

無(wú)污染，腔體內(nèi)部所有材料均為316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼，無(wú)任何顆粒產(chǎn)生。

PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱

溫度：MAX400度

真空度：低于100Pa

操作：彩色人機(jī)界面，一鍵運(yùn)行

冷卻方式：水冷卻+風(fēng)冷

氣路：1路N2

程序模式：程序運(yùn)行10個(gè)，每個(gè)程序可設(shè)置25步

隔熱材料：陶瓷纖維

工作腔：1/2/4/8可選

PI亞胺化厭氧爐工藝要求（參考）：

在低氧狀態(tài)下使用
真空加熱，升溫至1xx℃
再溫至1xx℃(約xh),保溫約 30min;
繼續(xù)升溫至x00℃，視涂層厚度不同加熱10-x0min
保溫約60min；
降溫至100℃以下

無(wú)氧烘箱（BCB固化爐），真空無(wú)氧烘箱（PI固化爐），無(wú)塵烘箱，HMDS烘箱，硅烷蒸鍍機(jī)，無(wú)塵無(wú)氧烘箱，氮?dú)夂嫦洌娘L(fēng)真空烘箱，高精度熱板，超低溫試驗(yàn)箱，快溫變?cè)囼?yàn)箱，恒溫恒濕試驗(yàn)箱，高低溫沖擊試驗(yàn)箱等設(shè)備，以及非標(biāo)定制。---上海雋思儀器專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)/服務(wù)

在線(xiàn)咨詢(xún)

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話(huà)：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說(shuō)明：
驗(yàn)證碼：

請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：PI真空固化烤箱，水冷卻PI固化爐工業(yè)烘箱
下一篇：PI固化高溫烘箱，聚酰亞胺厭氧烤箱工業(yè)烘箱

PI亞胺化厭氧爐，PI真空厭氧烤箱用于光刻膠BCB，聚酰亞胺CPI固化，LCP纖維熱處理、晶圓干燥烘烤等工藝

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話(huà)：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說(shuō)明：

驗(yàn)證碼：