堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱注意事項

堅膜就是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

堅膜并不是一道必需工藝。如后續(xù)為刻蝕工藝，建議進行堅膜，來提高光刻膠的穩(wěn)定性，如果后續(xù) 工藝為lift-off工藝，一般不建議進行堅膜工藝，因為堅膜后光刻膠穩(wěn)定性提高，反而不利于剝離的進行。

另外，一定要注意堅膜的溫度，過高的溫度會光刻膠結(jié)構(gòu)變形、融化甚至圖形消失。

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱光刻膠變化

1）熱變形

非交聯(lián)型光刻膠的結(jié)構(gòu)，即顯影后的正膠和圖形反轉(zhuǎn)膠結(jié)構(gòu)在加熱后的軟化溫度取決于前面軟烘烤工藝。

2）溶劑變化

減少殘留溶劑的含量實際上是勻膠工藝后前烘步驟的意義。然而，在厚膠工藝的情況下，即使是在推薦的前烘條件下，在靠近襯底附近的光刻膠中仍然包含相當高的溶劑。

3）光引發(fā)劑熱分解

在正膠情況下，相當一部分光引發(fā)劑在120℃下 幾分鐘內(nèi)就會分解。雖然在顯影后不再需要光引發(fā)劑進行光反應，但在未曝光狀態(tài)下，它有助于提高光刻膠膜在堿性環(huán)境中的穩(wěn)定性，以及用于隨后的濕法蝕刻步驟或在pH值為>7的溶液中進行的電鍍工藝。

4）熱交聯(lián)

在正膠情況下，樹脂在130℃-140℃下熱交聯(lián)強度逐漸增強，這可以顯著提高光刻膠對堿性或有機溶劑的化學穩(wěn)定性。

5）光刻膠脆性

在烘烤過程中，殘余溶劑的含量進一步降低以至于光刻膠結(jié)構(gòu)的彈性也隨之降低，同時光刻膠結(jié)構(gòu)與氧氣反應，在120 -130℃左右開始光刻膠開始脆化。光刻膠和襯底材料的不同熱膨脹系數(shù)不同會導致裂紋的產(chǎn)生。產(chǎn)生的這些光刻膠裂紋對后續(xù)濕法刻蝕與電鍍的影響是非常不利的。

堅膜烘箱 潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱工藝特點

如果必須做堅膜工藝，可以通過控制降溫速度來減小裂紋的形成。例如，通過隨爐子冷卻來減小裂紋的產(chǎn)生。出于同樣的原因，烘烤后的襯底應小心處理，并應避免變形，如襯底彎曲，這些對于PI膠做鈍化層（PI固化爐）的應用顯得尤為重要。

堅膜烘箱技術(shù)性能

全周激光滿焊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；

采用特殊風道，水平送風，溫度均勻性佳；

可定值運行，多段程序運行；

設(shè)備采用雙腔室一體設(shè)計，獨立控制，節(jié)省空間；

溫度范圍： RT+10～200、300/400℃；

溫度均勻度：≤±1.5%℃；

潔凈度：class100，適用潔凈間；

設(shè)備尺寸：45*45*50（CM）

計時功能：0~ 99H99M可調(diào)；

降溫方式：可選配

保溫材料：超細陶瓷纖維；

隔 板：1-10層；